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半自動(dòng)光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用
半自動(dòng)光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用 2025-04-15

隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動(dòng)光刻機(jī),憑借其較高的性價(jià)比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動(dòng)光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...

  • 脈沖激光沉積的沉積速率高,試驗(yàn)周期短 2022-05-06

    脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsedlaserablation,PLA),是一種利用激光對物體進(jìn)行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。不過,脈沖激光沉積的發(fā)展與探究,處處受制。事實(shí)上,當(dāng)時(shí)的激光科技還未成熟,可以得到的激光種類有限;輸出的激光既不穩(wěn)定,重復(fù)頻率亦太低,使任何實(shí)際的膜生成過程均不能付諸實(shí)行。因此,PLD在薄膜制作的發(fā)展比其它技術(shù)落后。以分子束外延(MBE)為例,制造出來的薄膜質(zhì)素就優(yōu)良得多。往后十年,由于激光科技的...

  • 納米壓印系統(tǒng)應(yīng)用及方法介紹 2022-05-05

    納米壓印系統(tǒng)是一種用于數(shù)學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。生物大分子的納米圖案變化對于組織工程具有非常重要的意義,如何將在生物活性前提下實(shí)現(xiàn)生物大分子的納米圖案仍然是一個(gè)科學(xué)挑戰(zhàn)。利用納米壓印過程的生物相溶性,可以將生物大分子DNA、蛋白質(zhì)等直接進(jìn)行納米圖案化,進(jìn)而研究其在生物醫(yī)療和組織工程領(lǐng)域的應(yīng)用。納米壓印方法:包括步驟:提供集成模具;所述集成模具包括平面板以及緊密固定在所述平面板上的多個(gè)具有納米圖案的單元模具;提供襯底;在所述襯底表面形成光刻膠層;將所述集成...

  • 皮可安培計(jì)的工作原理及使用注意事項(xiàng) 2022-04-22

    皮可安培計(jì)轉(zhuǎn)動(dòng)線圈式電流表轉(zhuǎn)動(dòng)線圈式電流表(galvanometer)裝有一分流器(shunt)以降低敏感度,它只能用于直流,但加一整流器(rectifier)也可用于交流?;竞喗椋?測量電路中電流強(qiáng)度的儀器,也叫安培表、電流表。主要類型有轉(zhuǎn)動(dòng)線圈式電流表、轉(zhuǎn)動(dòng)鐵片式電流表、熱偶式電流表以及熱線式電流表轉(zhuǎn)動(dòng)線圈式電流表轉(zhuǎn)動(dòng)線圈式電流表(galvanometer)裝有一分流器(shunt)以降低敏感度,它只能用于直流,但加一整流器(rectifier)也可用于交流。皮可安培計(jì)...

  • 多功能磁控濺射儀功能強(qiáng)大,性價(jià)比高 2022-04-19

    多功能磁控濺射儀在所有的小型高真空鍍膜設(shè)備中,此設(shè)備功能強(qiáng)大,性能價(jià)格比非常好。鍍膜方式包含了熱蒸發(fā),電子束蒸發(fā)和磁控濺射沉積。由于它的模塊化設(shè)計(jì),使得多數(shù)研發(fā)人員用起來非常方便,針對各種樣品易于轉(zhuǎn)換沉積條件,是研究人員不可獲缺的鍍膜工具!系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。主要性能指標(biāo):極限壓力≤2.0x10-5Pa;基片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)6個(gè)工位;樣品尺寸:Ф30mm,可放置6片;運(yùn)動(dòng)方式:0-360°;...

  • 開爾文探針掃描主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域 2022-04-11

    開爾文探針掃描是一種基于振動(dòng)電容的非接觸無損氣相環(huán)境金屬表面電位的測量技術(shù),用于測量材料的功函數(shù)(WorkFunction)或表面勢(SurfacePotential)。它可以用于檢測氣相環(huán)境中因溫度、濕度、表面的化學(xué)、電學(xué)、力學(xué)、晶體、吸附、成膜等因素引起的材料表面電勢的微小變化,是一種高靈敏的表面電化學(xué)分析技術(shù),是能夠測定氣相環(huán)境中腐蝕電極表面電位的方法。特點(diǎn):(1)高速高分辨電位分布測量功能。(2)快速變化電位分布測量功能。(3)低噪聲電位分布測量功能。(4)智能調(diào)試功...

  • 磁濺射鍍膜機(jī)的磁控濺射種類及工藝 2022-04-11

    磁濺射鍍膜機(jī)是一種普適鍍膜機(jī),用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系??慑兏鞣N硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜和其他化學(xué)反應(yīng)膜,亦可鍍鐵磁材料。磁濺射鍍膜機(jī)主要用于實(shí)驗(yàn)室制備有機(jī)光電器件的金屬電極及介電層,以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。真空鍍膜技術(shù)作為一種產(chǎn)生特定膜層的技術(shù),在現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)生活中有著廣泛的應(yīng)用。真空鍍膜技術(shù)有三種形式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。這里主要講一下由濺射鍍膜技術(shù)發(fā)展來的磁控濺射鍍膜的原理及相應(yīng)工藝的研究。濺射屬于PDV(物...

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