隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動(dòng)光刻機(jī),憑借其較高的性價(jià)比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動(dòng)光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過(guò)利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...
納米顆粒探測(cè)器是一種新興的環(huán)境監(jiān)測(cè)技術(shù),能夠檢測(cè)和分析空氣、水和土壤中的微小顆粒。這些顆??赡馨卸净蛭kU(xiǎn)物質(zhì),因此對(duì)于環(huán)境保護(hù)具有重要意義。本文將介紹納米探測(cè)器的原理、應(yīng)用以及對(duì)環(huán)境監(jiān)測(cè)的貢獻(xiàn)。首先,讓我們來(lái)了解一下納米顆粒探測(cè)器的工作原理。它們通常由一個(gè)激光器和一個(gè)探測(cè)器組成。激光器會(huì)發(fā)射出一束光線,并照射在空氣或液體中。當(dāng)光線與顆粒相遇時(shí),會(huì)散射回來(lái)并被探測(cè)器捕捉到。通過(guò)計(jì)算捕捉到的反射光強(qiáng)度和方向,可以確定顆粒的大小、形狀和化學(xué)成分。這種方法非常靈敏,可以檢測(cè)到直徑...
一、單原子層逐次沉積,沉積層極均勻的厚度和優(yōu)異的一致性等就體現(xiàn)出來(lái),而沉積速度慢的問(wèn)題就不重要了。以下主要討論原子層沉積原理和化學(xué),原子層沉積與其他相關(guān)技術(shù)的比較,原子層沉積設(shè)備,原子層沉積的應(yīng)用和原子層沉積技術(shù)的發(fā)展。二、通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)器并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法(技術(shù))。當(dāng)前驅(qū)體達(dá)到沉積基體表面,它們會(huì)在其表面化學(xué)吸附并發(fā)生表面反應(yīng)。在前驅(qū)體脈沖之間需要用惰性氣體對(duì)原子層沉積反應(yīng)器進(jìn)行清洗。由此可知沉積反應(yīng)前驅(qū)體物質(zhì)能否在被沉積...
鹽霧氣溶膠發(fā)生器是一種常見(jiàn)的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,被廣泛應(yīng)用于材料表面腐蝕、防護(hù)和涂層等性能測(cè)試。其基本原理是將鹽水噴霧加熱,產(chǎn)生水蒸氣并與空氣混合,形成細(xì)小顆粒的鹽霧氣溶膠。這些氣溶膠粒子具有不同的粒徑范圍,對(duì)于實(shí)驗(yàn)結(jié)果和應(yīng)用效果具有重要影響。那么,鹽霧氣溶膠發(fā)生器的粒徑范圍是多少呢?首先,我們需要了解氣溶膠粒徑的定義和分類。氣溶膠粒徑是指氣態(tài)物質(zhì)中懸浮的微小顆粒的尺寸大小,通常用直徑表示。根據(jù)粒徑大小,氣溶膠可以分為超細(xì)粒子(10μm)等幾類。其中,氣溶膠的細(xì)粒子和粗粒子對(duì)于環(huán)境污染...
一、1、樣品襯底在蒸鍍前可以通過(guò)離子槍進(jìn)行清潔。2、樣品臺(tái)的三維轉(zhuǎn)動(dòng)(平面內(nèi)和垂直于平面)。3、可以注入氣體(特別是氧氣),并且可控制其壓強(qiáng)。4、蒸鍍厚度控制:頻率:10-4Hz;沉積速度分辨率:0.001nm/s;沉積厚度分辨率:0.01nm/s;沉積厚度可重復(fù)性:±1sxrate。二、1、真空度三、直徑4英寸基片,片內(nèi)均勻性優(yōu)于±3%,片間均勻性優(yōu)于±2%,重復(fù)性優(yōu)于±2%。四、真空蒸發(fā)鍍膜是一種由物理方法產(chǎn)生薄膜材...
深能級(jí)瞬態(tài)譜儀(DeepLevelTransientSpectroscopy,簡(jiǎn)稱DLTS)是一種常用于研究半導(dǎo)體材料中深能級(jí)缺陷的技術(shù)。半導(dǎo)體材料的性能和穩(wěn)定性受到其中的深能級(jí)缺陷影響,因此了解這些缺陷的特性對(duì)于半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)和開發(fā)至關(guān)重要。DLTS技術(shù)的基本原理是在半導(dǎo)體樣品中注入一系列熱激發(fā)電荷,并測(cè)量其釋放和捕獲過(guò)程所引起的電容變化。這些電荷會(huì)被深能級(jí)缺陷捕獲,從而導(dǎo)致電容變化,因此可以通過(guò)分析這些變化來(lái)確定樣品中存在的深能級(jí)缺陷的數(shù)量、位置、能量和捕獲截面等參數(shù)。...
激光外延制備系統(tǒng)是一種重要的半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)技術(shù),可以用于制備高質(zhì)量、高純度的晶體材料。以下是優(yōu)化脈沖激光外延制備系統(tǒng)的生長(zhǎng)速率和晶體質(zhì)量的幾個(gè)關(guān)鍵步驟:1、優(yōu)化反應(yīng)室氣氛:反應(yīng)室氣氛對(duì)晶體生長(zhǎng)速率和質(zhì)量有很大影響。合適的氣氛可以提高晶體生長(zhǎng)速率和質(zhì)量,并且可以降低晶體缺陷密度。使用高純度氣體或氣體混合物可以減少雜質(zhì)和不良反應(yīng)。2、控制溫度梯度:溫度梯度是晶體生長(zhǎng)過(guò)程中一個(gè)非常重要的因素。合適的溫度梯度可以促進(jìn)晶體的生長(zhǎng)并減少晶體的缺陷。在反應(yīng)室中設(shè)置均勻的加熱器和冷卻器可以控...
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